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MEMS芯片 M-01-005
    发布时间: 2018-08-09 16:37    

依托顶尖的8英寸压电氮化铝（AlN）平台，经过5年持续投入，开发的压电声压梯度式超声芯片。

MEMS芯片 M-01-005


MEMS芯片   M-01-005性能指标

参数

500kHz 芯片

工作原理

压电氮化铝

静态电容

250pF

击穿电压

>100VDC

谐振阻抗

2000Ω

当前芯片尺寸

2.5mmx2.5mm

最大工作耐压

2MPa