联系电话:18520175978(微信同号)
依托顶尖的8英寸压电氮化铝(AlN)平台,经过5年持续投入,开发出全球首款压电声压梯度式超声MEMS芯片。
MEMS芯片 M-01-010性能指标
参数
1MHz芯片
工作原理
压电氮化铝
静态电容
330pF
击穿电压
>100VDC
谐振阻抗
240 Ω
当前芯片尺寸
3.5mmx3.5mm
最大工作耐压
3MPa